干式真空泵冷卻系統(tǒng)維護(hù)（分風(fēng)冷 EV?SA/EV?A/EV?X、水冷 EV?M/EST/ESA 兩大機(jī)型，荏原現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)準(zhǔn)維保）

一、風(fēng)冷型（EV?SA、EV?A、小型 EV?X，電鍍、實(shí)驗(yàn)室配套主力）

1. 日常點(diǎn)檢（每周）

1. 散熱過濾網(wǎng)：拆下吹掃粉塵、纖維，環(huán)境多酸堿霧氣每 3～5 天清理；濾網(wǎng)堵塞→風(fēng)量下降、泵體升溫、真空變差。

2. 冷卻風(fēng)扇：查看運(yùn)轉(zhuǎn)無異響、無卡頓；風(fēng)扇老化風(fēng)量衰減，泵溫升＞40℃效率下降。

3. 泵外殼散熱翅片：壓縮空氣吹除積灰、結(jié)晶油污；電鍍酸霧環(huán)境翅片易沾腐蝕結(jié)晶。

2. 月度保養(yǎng)

1. 檢查風(fēng)扇固定螺絲、電源線；軸承異響直接更換散熱風(fēng)機(jī)。

2. 設(shè)備周邊預(yù)留≥15cm 通風(fēng)空間，不要密閉包裹、不要靠墻堆放。

3. 異常處置

二、水冷型（EV?M 羅茨、EST/ESA 螺桿，半導(dǎo)體刻蝕、MOCVD 機(jī)型）

1. 冷卻水水質(zhì)要求（關(guān)鍵）

• 優(yōu)先軟水 / 去離子水，禁止自來水長(zhǎng)期直供（水垢堵水道）；

• 進(jìn)水標(biāo)準(zhǔn)：水溫 **≤25～28℃**、進(jìn)水壓力 0.2～0.4MPa，原廠規(guī)范。

2. 日常巡檢（每日）

1. 進(jìn)出水溫差：正常 3～6℃；溫差驟變小 = 水路堵塞。

2. 查看管路有無滲漏、閥門滴水；回水目視水流連續(xù)無斷流。

3. 冷卻水塔 / 循環(huán)水箱：液位充足、無藻類、油污漂浮。

3. 月度維護(hù)

1. 過濾器濾芯清洗 / 更換，水路前置 Y 型過濾器必拆洗。

2. 管路排氣：排空水冷夾套內(nèi)部積氣，氣堵會(huì)局部過熱。

4. 季度深度保養(yǎng)（6 個(gè)月一次，重腐蝕工況 3 個(gè)月）

1. 水路酸洗除垢：檸檬酸循環(huán)清洗泵體冷卻夾套水垢，水垢附著換熱效率暴跌 30% 以上。

2. 檢查冷卻盤管內(nèi)壁腐蝕，酸堿廢氣工況冷卻水易滲入腐蝕夾層。

5. 冬季防凍

三、共用故障判斷

1. 泵溫偏高、極限真空變差、電流變大 → 冷卻失效；

2. 水冷出水溫度異常偏高：堵水、水量不足；

3. 風(fēng)冷機(jī)身燙手：濾網(wǎng)堵、風(fēng)扇損壞。